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碳化硅涂层是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效手段之一,本文介绍了碳化硅涂层的制备技术及优缺点,综述了碳化硅涂层在炭/炭热场材料领域的应用及研究进展,对炭/炭热场材料高温抗侵蚀涂层的发展提出了建议和方向.
碳化硅涂层在单晶硅用炭/炭热场材料中的应用及研究进展
【摘 要】
：
碳化硅涂层是目前解决单晶硅生产用炭/炭热场材料高温侵蚀的有效手段之一,本文介绍了碳化硅涂层的制备技术及优缺点,综述了碳化硅涂层在炭/炭热场材料领域的应用及研究进展,
【机 构】
：
西安超码科技有限公司,陕西西安710025西安航天复合材料研究所,陕西西安710025;西安超码科技有限公司,陕西西安710025;
【出 处】
：
炭素技术
【发表日期】
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2020年3期
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