GC-MS测定高纯氪、氙中的痕量氟化物

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建立了气相色谱质谱联用法测定高纯氪及高纯氙中的四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的方法。采用选择性离子监测(SIM)模式,以m/z 69 作为四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的定量离子,在0.1~50 μmol/mol 的浓度线性范围内,待测物体积分数与响应值呈良好的线性关系(R2 ≥ 0.999),四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的检出限均低于0.01 μmol/mol。方法处理简单,检测时间短,具有良好的准确度和精密度。
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