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测量了１２ｋｅＶ注入能量、８×１０＾１４－２×１０＾１５／ｃｍ＾２剂量砷离子注入硅有椭偏光谱，并用最优化拟合算法从椭偏光谱定出损伤分布。这种低能量离子注入的结果表明，损伤分布呈现为平台型，体内不出现峰值，损伤浓度为１２．５－１６．０ｎｍ，与背散射沟道技术测定结果相符合。
12keV低能砷离子注入硅的损伤分布
【摘 要】
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测量了１２ｋｅＶ注入能量、８×１０＾１４－２×１０＾１５／ｃｍ＾２剂量砷离子注入硅有椭偏光谱，并用最优化拟合算法从椭偏光谱定出损伤分布。这种低能量离子注入的结果表明，损伤分布呈现为平台型，体内不出现峰值，损
【机 构】
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中山大学物理学系,中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
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中山大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1995年2期
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