【摘 要】
：
微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平
论文部分内容阅读
微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度.最后,对所设计的结构进行了工艺仿真,通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较,论证了结构的基本可行性.
其他文献
<正>诉的利益解决的是受到侵害的权利或某项争议是否需要通过诉讼程序提供救济的问题,旨在防止司法资源的滥用;原告资格解决的则是起诉人的主体资格问题,旨在强调对起诉行为
作为信息隐藏技术的一个具体表现形式,数字水印是一种有效的数字产品版权保护和数据安全维护技术,在版权保护、"指纹"识别、拷贝保护、广播监视等方面有重要的应用[1]。用LSB
农村土地"三权分置"改革是我国土地制度改革的重要创新,这一改革涉及利益群体众多,是关系到政治、经济和法律等多领域的综合问题。虽然农地"三权分置"改革有利于促进农村经济
对单晶高温合金DD6进行表面吹砂处理,然后进行固溶与时效真空热处理,采用SEM,TEM,EPMA和Thermo-Calc的方法研究了单晶合金DD6再结晶晶界析出相的特征及其形成机制.结果表明,
①目的建立一种同时检测多种镰刀菌毒素的测定方法。②方法使用日本岛津公司ＧＣ－９Ａ型电子捕获气相色谱仪，同时测定脱氧雪腐镰刀菌烯醇（ＤＯＮ）、ＨＴ－２毒素、新茄病镰刀菌烯醇（ＮＳ）、二乙酸蔗草镰刀菌烯
<正>又一个春天来了,随之展开的是万亩葱茏的希望田野。每当这个时候,作为办刊人总能阐发出许许多多的感慨与激动,总有一种真情需要表露:在此一元复始、万象更新之际,《中国
<正> 根据作者目前的材料,作者希望继续讨论关于ELISA在耶尔森氏茵感染血清诊断中和价值问题。作者总共分析了104例小肠结肠炎耶尔森氏菌0:3感染患者的血清样本。所有病例均
通过对目前高职旅游教育校企合作模式的梳理和存在问题的分析,探讨建立深度融合模式的途径,以期促进高职旅游教育的长远发展。
双吡啶单吡咯三齿配体(PDP)可看作三联吡啶的类似配体,提供三个N配位原子,根据中心金属离子的电子结构特点,可作为σ电子给体或π电子受体[1]。据文献报道,PDP配体不仅可以和
四溴双酚-A(TBBPA)是全球产量最大、使用最广泛的溴化阻燃剂,主要应用于印刷线路板及ABS、HIPS等多种材料的阻燃。随着它的大量使用,引起了大气、水体、沉积物和土壤等环境介