【摘 要】
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杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素。材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降。在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者
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杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素。材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降。在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间。制定合适的排气工艺就需要了解放气率和温度、时间的函数关系。基于扩散理论,建立起材料的放气模型。使用出气模型分析杜瓦夹层材料放气特性,并借用Sofradir公司提供的数据作参考,对计算公式做标定。根据理论分析,杜瓦夹层材料的出气特性满足加速方程K=exp[(1/T1-1/T2)E/R]。根据Sofradir公司提供的数据计算得E/R=7007.72,即每提高10℃的温度,放气加速因子近似为2。应用扩散模型的分析结果,安排烘烤出气实验累积国产杜瓦产品的真空寿命数据。杜瓦置于80℃的恒定温度下持续15天的烘烤,四级质谱仪被用于分析两周内每天的气体变化情况。
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