【摘 要】
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薄膜铂电阻热流传感器是激波风洞气动热环境试验的主要测量手段，其缺点是不耐冲刷、易损坏，影响风洞试验效率。为增强铂薄膜热流传感器的耐冲刷能力，以厚度0．06μm的铬薄膜作为底
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
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薄膜铂电阻热流传感器是激波风洞气动热环境试验的主要测量手段，其缺点是不耐冲刷、易损坏，影响风洞试验效率。为增强铂薄膜热流传感器的耐冲刷能力，以厚度0．06μm的铬薄膜作为底衬，既能增强铂薄膜在玻璃基体上的附着力，又不会影响铂薄膜的电阻温度系数，并覆盖厚度0．2μm的二氧化硅薄膜作为保护膜，制作了3层膜结构和两种两层膜结构的热流传感器样品。分析了铬膜及二氧化硅膜对热流传感器电阻温度系数的影响，对3层膜和单层膜热流传感器的一维传热过程进行对比仿真计算，证明二氧化硅膜不会对激波风洞热流测量结果带来明显的影响。通
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