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激光微细加工在电子工业中的应用
激光微细加工在电子工业中的应用
来源 :莆田高等专科学校学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangglan2
【摘 要】
:
从电子工业的角度出发,介绍激光微细加工的应用,包括:激光打标、细导线剥离、微透镜列阵、激光光刻、激光表面改性等,并综述了它们的研究现状和未来发展趋势.
【作 者】
:
黄黎红
【机 构】
:
莆田高等专科学校机电系
【出 处】
:
莆田高等专科学校学报
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
激光
微细加工
电子工业
光刻
laser
micro-machining
lithography
electronicindustry
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从电子工业的角度出发,介绍激光微细加工的应用,包括:激光打标、细导线剥离、微透镜列阵、激光光刻、激光表面改性等,并综述了它们的研究现状和未来发展趋势.
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