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从电子工业的角度出发,介绍激光微细加工的应用,包括:激光打标、细导线剥离、微透镜列阵、激光光刻、激光表面改性等,并综述了它们的研究现状和未来发展趋势.
激光微细加工在电子工业中的应用
【摘 要】
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从电子工业的角度出发,介绍激光微细加工的应用,包括:激光打标、细导线剥离、微透镜列阵、激光光刻、激光表面改性等,并综述了它们的研究现状和未来发展趋势.
【机 构】
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莆田高等专科学校机电系
【出 处】
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莆田高等专科学校学报
【发表日期】
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2001年4期
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