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采用微针向生物体运送药物是经皮给药的重要方式，而微针的制备方法是其实现的关键。采用机械切割与化学湿法刻蚀相结合的方法研究制备硅实心微针。首先根据所需的微针形貌设计切割刀具，然后采用切割刀具根据一定的机械切割工艺得到微针阵列粗坯，在此基础上，采用化学刻蚀的方法刻蚀微针阵列粗坯得到所需的微针形貌，并获得微针制备的优化工艺参数。实验结果表明，该制备工艺可较好地控制微针的高度和形貌，且具有成本低、可实现大批量微针阵列制备的特点。