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介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理，对化学液配、补液的实现方法进行了探讨，给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。
LED湿法清洗设备CDS设计
【摘 要】
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介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理，对化学液配、补液的实现方法进行了探讨，给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年1期
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