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利用线阵CCD可以进行一维无接触微小尺寸的测量,具体方法是建立经过衍射后的被测件尺寸与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高精度测量;并对该测量方法的误差进行了分析。
线阵CCD微小尺寸测量的应用及误差分析
【摘 要】
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利用线阵CCD可以进行一维无接触微小尺寸的测量,具体方法是建立经过衍射后的被测件尺寸与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高精度测量;并对该测量方法的误差进行了分析。
【机 构】
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中国地震局地震研究所,地壳运动与地球观测实验室
【出 处】
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大地测量与地球动力学
【发表日期】
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2007年02期
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