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利用原位XRD及Rietveld法对Ti—Mo合金fccδ相氢化物在293-1173K脱氢过程中的晶格参数、晶粒尺寸及微观应变进行了分析.在退火过程中,δ相逐渐脱氢转变为bccδ相固溶体.两相晶格参数的变化大体随Mo含量的增加和温度的升高而缩小,且β相的变化率大于δ相的变化率.两相的晶粒尺寸和微观应变在温度升高时都显示了先变大再变小的趋势.从微观结构对上述现象进行了解释和讨论.