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期刊论文
YAG调Q激光陶瓷基板划片机
YAG调Q激光陶瓷基板划片机
来源 :应用激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ICE867200WXM
【摘 要】
:
分析了YAG调Q激光陶瓷基板划片的机理.提出了较完善的整机总体设计方案,解决了百瓦级YAG激光的声光调Q、工件走位高定位精度高重复精度与高速进给等关键技术,整机达到了预定指
【作 者】
:
朱三又
黄宣劭
姜兆华
【机 构】
:
上海市激光技术研究所!上海,200233,上海市激光技术研究所!上海,200233,上海市激光技术研究所!上海,200233
【出 处】
:
应用激光
【发表日期】
:
1998年06期
【关键词】
:
陶瓷基板
激光划片
声光调Q
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分析了YAG调Q激光陶瓷基板划片的机理.提出了较完善的整机总体设计方案,解决了百瓦级YAG激光的声光调Q、工件走位高定位精度高重复精度与高速进给等关键技术,整机达到了预定指标和实用效果。
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