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期刊论文
离子注入机分析器模型的自动调束控制方法
离子注入机分析器模型的自动调束控制方法
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ivanny
【摘 要】
:
采用系统辨识方法获得离子注入机分析器精确模型,然后将系统模型作为分析器控制器的前馈控制,提前预测控制输出,提高控制器的响应速度,并在此基础上增加反馈控制通道,用来修正模型误差和外界干扰。最后,将此控制方法应用于CIP300型离子注入机研发,自动调束的效率和成功率都有较大提升。
【作 者】
:
孙勇
钟新华
杨亚兵
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十八研究所,北京烁科中科信电子装备有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2021年02期
【关键词】
:
离子注入机
质量分析器
磁场测量与校准
自动调束
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采用系统辨识方法获得离子注入机分析器精确模型,然后将系统模型作为分析器控制器的前馈控制,提前预测控制输出,提高控制器的响应速度,并在此基础上增加反馈控制通道,用来修正模型误差和外界干扰。最后,将此控制方法应用于CIP300型离子注入机研发,自动调束的效率和成功率都有较大提升。
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