Si/Al/BN多层膜的制备及研究

来源 :天津理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:paltx3
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文采用磁控溅射系统制备了Si/Al/BN多层膜结构,并通过XRD,AFM,傅立叶红外光谱仪,纳米压痕仪等对Si/Al/BN多层膜结构进行了表征,表征结果表明本实验制备的Si/Al/BN多层膜基片符合高频声表面波器件基片的要求,为金刚石/IDT/BN多层膜超高频声表面波器件的制备奠定了基础.
其他文献
在介绍自动售邮票机工作原理的基础上,介绍用可编程逻辑器件FPGA作核心元件的电路结构和实现方法。
双侧重复肾畸形在泌尿外科较为少见,我院自2005年2月~2006年4月收治3例.现报告如下.……
期刊
本文主要从高压变频器输出谐波、输出电压变化率、共模电压等方面讨论高压变频器对电机的影响并提出了应对方法。
虚拟仪器技术是利用高度模块化的硬件结合高度灵活的软件实现各种测试、测量领域的自动化应用.在实际的工业生产过程中报表生成功能是虚拟仪器系统的重要组成部分.本文利用ActiveX技术实现LabVIEW和Excel混合编程的报表生成程序设计,同时,通过软件编程实现的实时报表和历史报表查询.
"华龙一号"核电项目没有对安全相关仪表管线设计进行系统的分析和研究。该文从标准法规出发,借鉴M310和AP1000的设计经验,对安全级仪表管阀件的分级和选型、仪表管线的应力分析
将120例伴颈动脉粥群斑块的息性脑梗死患者随机分为三组各40例.低分子肝素大剂量组用量为4100 IU皮下注射,2次/d;小剂量组用量同大剂量组,1次,/d;对照组用低分子右旋糖酐+丹参注射液静
2003年1月~2005年12月,我们采用经尿道前列腺汽化电切术(TUVP)经尿道前列腺电切术(TURP)治疗前列腺增生症(BPH)97例,疗效满意.现报告如下.……
期刊
5月27日下午,学校的运动会开完后,学生已回校。我独自一人到画室外整理画板,以备“六一”展出。我正低头忙碌着,这时,背后传来轻轻的话语:“老师,我来帮你。”我抬起头感激地望着她说:“不用了,谢谢你。”“可是就你自己忙……”她有点不忍心地说。我笑了,“你开了一天的运动会,也累了,早点回去休息吧。”我把她劝走了。  她就是五年级的李晓丽同学,一个出色的小歌手。我只教了她几个月的课。那时她很高傲,不服人
本文介绍了一种基于TMS320F2812BIOS内核的运动控制系统设计方法,该方法利用DSP/BIOS内核基于任务优先级的多线程机制,实现对伺服电机运动控制的实时处理,包括运动系统的任务调度
该文在MATLAB编程环境下,针对变电站内数显仪表的特点,提出一种基于模板匹配的数显仪表读数识别方法。该方法首先建立数字0~9的模板库;然后在对原始仪表图像进行一定图像预处理的基础上,采用最大类间方差法(OTSU)分割出目标数字区域,并按照模板对数字矩阵进行统一化处理。由于数显仪表的读数都是七段式数码管,数字类型统一,通过充分运用模版匹配可将数显仪表的读数识别出来。该方法易于实现,识别率高,对数显