Schwarzschild microscopes in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aaa939639017

【摘要】

：

Microscopes in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions using a normal incidence type of Schwarzschild objective are reviewed. The objective consists ofa conca

【作者】

：

M.WATANABE M.YANAGIHARA T.EJIM

【机构】

：

ShanghaiDianjiInstitute,SagaUniversitySynchrotronLightApplicationCenter,InstituteofMultidisciplinary

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

施瓦兹希尔物镜真空紫外线辐射软X-射线显微镜光电子 Microscope Schwarzschild objective Multilayer Vacu

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Microscopes in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions using a normal incidence type of Schwarzschild objective are reviewed. The objective consists ofa concave mirror and a convex mirror coated with a high reflectance multilayer, having a large numeric

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