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利用二次曝光法，在外力作用下以（１００）面单晶硅为样品所构造的四点简支梁模型的应变进行了测量，并分析了样品的主应力，从而得出的该样品的一个弹性常数，对反应应力与应变关系的弹性国示性曲面进行了初步探索。
二次曝光法测量单晶硅的弹性矩阵
【摘 要】
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利用二次曝光法，在外力作用下以（１００）面单晶硅为样品所构造的四点简支梁模型的应变进行了测量，并分析了样品的主应力，从而得出的该样品的一个弹性常数，对反应应力与应变关系的弹性国示
【机 构】
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四川大学光电系
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1999年4期
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