【摘 要】
：
分步投影光刻设备对准系统是由嵌在工作台上的一组基准标记、一套离轴对准系统和一套掩模对准系统组成.当工作台上的基准标记运行到投影镜头下面时,通过掩模对准系统在预定范
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
论文部分内容阅读
分步投影光刻设备对准系统是由嵌在工作台上的一组基准标记、一套离轴对准系统和一套掩模对准系统组成.当工作台上的基准标记运行到投影镜头下面时,通过掩模对准系统在预定范围内扫描测量标记位置值.当工作台上的基准标记或硅片上的标记运行到离轴对准系统测量光束下面时,用系统扫描可以测量出标记的坐标值.即可通过测量值计算出每个曝光场的中心坐标值.通过EGA对准数据,可计算出硅片的平移偏移量、旋转量、比例量和正交性量的补偿值.
其他文献
临近既有线施工，尤其是大型设备临近营业线作业，特别在线间距小于等于5m地段，如何优化方案，确保行车安全和施工安全，尤为重要。通过临近营业线共墩T梁架设，对过程中采取的方案和措
目的分析连花清瘟胶囊治疗急性化脓性扁桃体炎的疗效。方法选取2017年2月~2018年2月本院收治的急性化脓性扁桃体炎患者78例作为研究对象,随机将其分成两组,常规组采用青霉素V
本文在阐述工业设计的概念和重要作用的基础上,分析了我国工业设计落后的原因、需要解决的问题以及陶瓷产品设计时应当考虑的问题,最后介绍了陶瓷工业设计所面临的新形势。
透析相关性淀粉样变（DRA）是维持性血液透析患者的严重并发症之一,β2微球蛋白（β2-MG）淀粉样物质在骨关节和内脏沉积是DRA的主要特征,临床表现为腕管综合征、囊性骨损害与病理性
近年来,通信领域逐渐被＂大数据＂技术所占领,通信业务数量和业务类型不断增加,为各个运营商（如移动、联通、电信等）带来了巨大的收益。传统的数据技术已经难以满足现代通信领域的
医疗设备对医院医疗技术水平的提高有很大的贡献，甚至起到了决定性作用。但长期以来，人们只重视医疗设备的采购和使用，却忽视了医疗设备的维护与管理，致使设备相关医疗责任事故在
研究温室大棚内温度变化,以及不同时期温度的变化对温室作物生长发育的影响情况,得出各主要温室作物在不同生长发育阶段的不同温度指标,为实现对温室生产的合理调控提供了可
<正>"钻石公主号"邮轮上的新冠疫情,让处于调整期的国内邮轮市场雪上加霜。"密闭恐惧"是否会让全球邮轮业"翻船"?"钻石公主号"邮轮和新冠肺炎疫情带来的"密闭空间恐惧"并未消
采用问卷调查法,对我校学生上网时间和运动时间进行调查,采用测验法对接受调查问卷的学生进行立定跳远、1000米跑、实心球三项体育成绩的测验。对调查及测验的结果,针对学生
ISA(Intelligent Speed Adaptation)是智能交通运输系统(ITS)的一部分,即通过车载GPS对驾驶员在道路上行驶进行全程的速度监控,辅助驾驶员更好的遵守法定限速,以期减少碰撞事