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63.5 mm 127 mm英寸UT 1 光刻版的设计及制造

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：susan002

【摘 要】

：

提出一种新的UT 1X光刻版规格:63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UT1X光刻版适用于同一种UltraTech步进光刻机.相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整.新规格的光刻版

【作 者】

：

粟鹏义 陈开盛 曹庄琪 

【机 构】

：

上海光刻电子科技有限公司,上海交通大学

【出 处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

UltraTech 数据处理 光刻版 光刻 

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提出一种新的UT 1X光刻版规格:63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UT1X光刻版适用于同一种UltraTech步进光刻机.相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整.新规格的光刻版将127mm×127mm的基材的产出提高了一倍,加快了光刻版的生产速度,同时减少了废弃物的产生,有利于降低成本和环境保护.

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