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本文介绍了溅射镀膜的基本原理，溅射镀膜工艺及其在各方面的应用实例。
溅射薄膜技术的应用
【摘 要】
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本文介绍了溅射镀膜的基本原理，溅射镀膜工艺及其在各方面的应用实例。
【机 构】
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南京电子技术研究所
【出 处】
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电子机械工程
【发表日期】
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1999年03期
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