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采用自制２４５０ＭＨｚ，５ｋＷ不锈钢谐振腔型微波等离子体设备，研究了超声处理、细砂纸研磨、１μｍ和０．５μｍ金刚石粉研磨等Ｓｉ３Ｎ４基底预处理方法对ＭＰＣＶＤ金刚石涂层质量的影响，用ＳＥＭ和Ｒａｍａｎ光谱仪检测和分析了金刚石成核和生长质量，分析了金刚石的应力情况，用对比切削实验检测了金刚石涂层的附着情况。结果表明，经０．５μｍ金刚石粉研磨后，在７．０ｋＰａ压力、１．５％的ＣＨ４／Ｈ２气体流量比、１