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自动对准定位算法技术在探针设备中的应用研究
自动对准定位算法技术在探针设备中的应用研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:foxdeng
【摘 要】
:
论述了数字图像处理技术在全自动探针测试设备中的应用,介绍了图像处理中模板匹配算法原理以及晶圆自动对准定位技术的原理与实现手段。该算法能够完成晶圆片自动对准和晶圆
【作 者】
:
刘国敬
梁津
张文斌
刘婷婷
【机 构】
:
北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2021年1期
【关键词】
:
模版匹配
图像自动对准
图像自动定位
Template matching
Automatic image alignment
Automatic image p
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论述了数字图像处理技术在全自动探针测试设备中的应用,介绍了图像处理中模板匹配算法原理以及晶圆自动对准定位技术的原理与实现手段。该算法能够完成晶圆片自动对准和晶圆启测测试芯粒自动定位,为探针设备的精确快速测试提供了可靠性保障。
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