【摘 要】
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一年前,联邦财政部曾与研究和工业部门的首席代表进行了一次专业性座谈,目的是使化学汽相沉积研究付诸行动。但长期来没有一家德国制造商准备着手这项耗费巨大的计划。美国
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一年前,联邦财政部曾与研究和工业部门的首席代表进行了一次专业性座谈,目的是使化学汽相沉积研究付诸行动。但长期来没有一家德国制造商准备着手这项耗费巨大的计划。美国和日本至少在半导体领域已完成化学汽相沉积研究,在工业上并有业已成熟的产品投放市场
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