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密封可靠性是影响真空器件工作性能和寿命的重要指标。为了保证真空器件抽气管道的有效密封,设计了一种操作简便的夹封装置。采用有限元仿真分析了该装置的关键受力部件,并进行了结构优化,最后通过实验验证了该装置的有效性。
真空器件夹封装置及有限元仿真分析
【摘 要】
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密封可靠性是影响真空器件工作性能和寿命的重要指标。为了保证真空器件抽气管道的有效密封,设计了一种操作简便的夹封装置。采用有限元仿真分析了该装置的关键受力部件,并进
【机 构】
：
华中光电技术研究所-武汉光电国家研究中心
【出 处】
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科学与信息化
【发表日期】
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2020年11期
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