【摘 要】
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本文介绍一种由反馈伺服系统锁定激光干涉波相位的原理检测微位移的方法,具有高的灵敏度和低的漂移。其分辨率可以达到10~(-9)米数量级,适宜于对微位移的长期监测和测量。通
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本文介绍一种由反馈伺服系统锁定激光干涉波相位的原理检测微位移的方法,具有高的灵敏度和低的漂移。其分辨率可以达到10~(-9)米数量级,适宜于对微位移的长期监测和测量。通常,以激光为光源的迈克尔逊干涉仪能方便地实现位移的精确测量。但应用在记录随时间而变化的位移监测场合,如记录岩壁断层
This paper presents a method of detecting the micro-displacement by the principle of locking the phase of the laser interferometer by the feedback servo system, with high sensitivity and low drift. Its resolution can reach the magnitude of 10 ~ (-9) meters, suitable for long-term monitoring and measurement of micro-displacement. In general, a Michelson interferometer with a laser as a light source makes it easy to accurately measure displacement. However, it is used in the case of displacement monitoring where the recording changes over time, such as recording of rock wall faults
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