【摘 要】
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针对非球面度为0．2λ的大口径抛物面反射镜，采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测．对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波面进行相减，得到被检抛物面镜的实际面形误差
【机 构】
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西安电子科技大学技术物理学院,西安工业大学光电工程学院
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针对非球面度为0．2λ的大口径抛物面反射镜，采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测．对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波面进行相减，得到被检抛物面镜的实际面形误差．将表面绝对检测技术引入非球面面形检测中，并与波面相减技术相结合，从而使检测准确度提高了0．1λ．用自准直法验证了本方法的可行性．
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