【摘 要】
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本文提出一种原位测定ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ沟道中掺杂浓度分布和迁移率分布的新方法．建立了测试模型．推导出测量计算公式．用最优化方法处理实验数据，由机助测试系统和计算程序可方便地获得结果．
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【机 构】
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河北半导体研究所,中国科学院上海冶金研究所
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本文提出一种原位测定ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ沟道中掺杂浓度分布和迁移率分布的新方法．建立了测试模型．推导出测量计算公式．用最优化方法处理实验数据，由机助测试系统和计算程序可方便地获得结果．
This paper presents a new method for in-situ determination of doping concentration distribution and mobility distribution in GaAsMESFET channel. Established a test model. Derive the calculation formula. The experimental data is processed using the optimization method, and the results are easily obtained by the help-testing system and the calculation program.
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