【摘 要】
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在不同氧浓度下，采用直流反应磁控溅射技术在玻璃基片上制备了Ti掺杂的WO3薄膜并在450℃退火。用X射线衍射（XRD）、分光光度计、台阶仪等对薄膜的结构和光学性质进行表征，分析了不
【基金项目】
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重庆市教委科学技术项目（No.KJ070804）
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在不同氧浓度下，采用直流反应磁控溅射技术在玻璃基片上制备了Ti掺杂的WO3薄膜并在450℃退火。用X射线衍射（XRD）、分光光度计、台阶仪等对薄膜的结构和光学性质进行表征，分析了不同氧浓度对气敏薄膜的透光率、微结构及光学带隙的影响。结果表明，氧浓度增大，沉积速率越慢，膜厚度减小，薄膜的平均晶粒尺寸增大，晶面间距增大；透射率曲线随着氧浓度的增加逐渐向短波方向移动，表明薄膜的光学带隙宽度随氧浓度的增大而变大。
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