【摘 要】
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本文简述了目前国外通用的吸除技术,重点介绍了内吸除技术,包括它的基本概念、国外研究发展动向、吸除机理、吸除方法、在器件中的应用以及目前存在的难题等。
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本文简述了目前国外通用的吸除技术,重点介绍了内吸除技术,包括它的基本概念、国外研究发展动向、吸除机理、吸除方法、在器件中的应用以及目前存在的难题等。
This article briefly describes the current foreign suction technology, focusing on the suction technology, including its basic concepts, research and development trends abroad, suction mechanism, suction method, the device in the application and the existing problems .
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