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能量色散X射线荧光分析能够快速分析物质内部元素组分,是一种非化学手段处理元素的分析方法。本文建立了通过蒙特卡罗方法的模拟程序,并且研究了“X射线源-样品-探测器”的相对几何位置的改变对测量精度的影响。模拟结果表明,通过对峰背比的计算和测量确定了最佳的探测角度为45°,样品与探测器的距离为10mm,从而提高了系统的探测精度。