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研究了蓝宝石衬底AlGaN／GaN HEMT器件直流和微波性能随温度的变化。研究结果表明，器件直流性能随着温度升高逐渐下降，350℃时直流性能依然良好，从350℃冷却到室温后，器件直流特性除欧姆接触电阻改善外，其他都得到了恢复；微波测试表明，器件fT，fmax都随温度升高而下降，180℃时，fT从室温的11．6GHz下降为7．5GHz、fmax从24．6GHz下降为19GHz，通过外推得到350℃时的fT为3．5GHz，fmax为12GHz。证明了AlGaN／GaN HEMT具有良好的热稳定性，适合在高温