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在微位移技术中，柔性铰链是实现微粒移和高分辨率的的理想机构。本文介绍了柔性绞链的简化设计方法，并利用柔性绞链工作原理设计了柔性框架式爬行驱动器作为微动工作台的驱动装置，使微动工作台获得了稳定的工作精度和高分辨率。
采用柔性铰链实现微位移的方法研究
【摘 要】
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在微位移技术中，柔性铰链是实现微粒移和高分辨率的的理想机构。本文介绍了柔性绞链的简化设计方法，并利用柔性绞链工作原理设计了柔性框架式爬行驱动器作为微动工作台的驱动装
【机 构】
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上海理工大学光学与电子信息工程学院
【出 处】
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工业仪表与自动化装置
【发表日期】
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1999年5期
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