【摘 要】
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对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削（ELID）、化学机械抛光（CMP）、固结软磨料抛光、磁流变抛光（MRF）、超声振动辅助磨削的加工
【基金项目】
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陕西省自然科学基金(2014JM7257);陕西省教育厅重点实验室项目(16JS046);陕西省教育厅重点实验室访问学者项目(14JS029);陕西省特种加工重点实验室开放基金(ST-11006)
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对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削（ELID）、化学机械抛光（CMP）、固结软磨料抛光、磁流变抛光（MRF）、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足以及最新研究成果存在的关键问题。其中游离磨料磨削、在线电解修整磨削、金刚石砂轮磨削的材料去除速率较高,化学机械抛光是抛光大面积基片的唯一方法,磁流变抛光后的基片表面不存在亚表面损伤。根据单晶蓝宝石基片的应用需求和目前抛光方法的不足,对后续研究的方向进行了预测。
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