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提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头，该探头由商用DVD读取头改装而成，已经完成其设计与制作。实验结果表明探头分辨率优于2nm，测量重复性可达20nm，目前已应用于纳米三坐标测量机上。
一种基于DVD读取头的非接触触发探头
【摘 要】
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提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头，该探头由商用DVD读取头改装而成，已经完成其设计与制作。实验结果表明探头分辨率优于2nm，测量重复性可达20nm，目前已应用于纳
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2014年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金（51275148,50875073）
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