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一种基于DVD读取头的非接触触发探头
一种基于DVD读取头的非接触触发探头
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shinmagi
【摘 要】
:
提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头,该探头由商用DVD读取头改装而成,已经完成其设计与制作。实验结果表明探头分辨率优于2nm,测量重复性可达20nm,目前已应用于纳
【作 者】
:
高伟
陈晓怀
李瑞君
程真英
【机 构】
:
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
2014年1期
【关键词】
:
计量学
DVD光学读取头
非接触探头
纳米三坐标测量机
Metrology
DVD optical pickup head
Non-contact prob
【基金项目】
:
国家自然科学基金(51275148,50875073)
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提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头,该探头由商用DVD读取头改装而成,已经完成其设计与制作。实验结果表明探头分辨率优于2nm,测量重复性可达20nm,目前已应用于纳米三坐标测量机上。
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