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本文针对国内外CVD金刚石薄膜在硬质合金工模具领域应用中存在的膜基结合强度低,薄膜表面光滑性和均匀性差、表面抛光困难等关键技术难题,开发了超光滑金刚石复合薄膜制备技术,
超光滑金刚石复合薄膜的制备、摩擦学性能及应用研究
【摘 要】
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本文针对国内外CVD金刚石薄膜在硬质合金工模具领域应用中存在的膜基结合强度低,薄膜表面光滑性和均匀性差、表面抛光困难等关键技术难题,开发了超光滑金刚石复合薄膜制备技
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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机械工程学报
【发表日期】
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2012年18期
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