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在美国,加工尺寸限于1微米的最新LSI工厂里正开始采用宇航服武净化服,这是为了清除LSI的大敌——尘埃;美国英特尔公司,在生产32位微处理机80386等的最新工厂里已开始采用这种净化服;在日本,试用类似净化服的LSI公司已经出现;同时,还指出了人们对于这种净化服的工作性能的担心。
大规模集成电路工厂用的宇航式净化服
【摘 要】
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在美国,加工尺寸限于1微米的最新LSI工厂里正开始采用宇航服武净化服,这是为了清除LSI的大敌——尘埃;美国英特尔公司,在生产32位微处理机80386等的最新工厂里已开始采用这种
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1989年4期
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