【摘 要】
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本文研究了一种埋入式MEMS(微电子机械系统)无线应变片性能的实验标定方法.通过引入一个当量应变片,遵照标准应变片的标定规定,本文设计了实用有效的实验标定步骤.分别对标准
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本文研究了一种埋入式MEMS(微电子机械系统)无线应变片性能的实验标定方法.通过引入一个当量应变片,遵照标准应变片的标定规定,本文设计了实用有效的实验标定步骤.分别对标准应变片和MEMS试样进行完全相同的拉伸实验,从而得到埋入MEMS应变片的应变片系数(灵敏度)为13,同时获得在实验试样的制作条件下,测量应变与实际应变之比为2.
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