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CCD尺寸检测中安装误差对测量精度的影响
CCD尺寸检测中安装误差对测量精度的影响
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mem12345
【摘 要】
:
在用面阵CCD进行尺寸检测时,由于CCD平面与被测尺寸平面不平行而带来了误差.利用齐次坐标变换建立了从工件平面到CCD平面的坐标变换关系,推导尺寸投影变换关系及误差表达式和
【作 者】
:
武利生
杨丽凤
李元宗
【机 构】
:
太原理工大学
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2005年10期
【关键词】
:
CCD
尺寸检测
误差
CCD Dimension measurement Error
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在用面阵CCD进行尺寸检测时,由于CCD平面与被测尺寸平面不平行而带来了误差.利用齐次坐标变换建立了从工件平面到CCD平面的坐标变换关系,推导尺寸投影变换关系及误差表达式和最大误差公式,并讨论了误差变化的规律及减小或消除这一误差的方法.
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