离子束辅助淀积钴硅化合物薄膜的结构研究

来源 :薄膜科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liminice

【作者】

：

叶小燕陶琨

【出处】

：

薄膜科学与技术

【发表日期】

：

1995年2期

【关键词】

：

离子束辅助淀积钴硅化合物薄膜结构

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