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针对无机半导体气体传感器材料可修饰性差、工作温度高等缺点，开展了新型金属酞菁类有机半导体气敏材料的研究，并对敏感材料进行了表征，测试结果与化学结构和理论值一致．采用微电子工艺制备平面叉指电极，采用旋涂技术，在叉指电极上形成敏感膜，对制备的旋涂膜进行红外光谱（IR）和原子力扫描电镜（AFM）表征，AFM图像表明薄膜表面均匀、平滑和致密．按照静态法测试了薄膜对NO2气体的气敏特性，结果表明，在室温和50℃时质量浓度为6．5mg／mL的PbPc（iso-PeO）8旋涂膜相较于CuPc（iso-PeO）8、NiP