【摘 要】
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叙述了CH-电容湿度仪的研制意义、仪器的主要技术指标、Si-MOS湿度传感器的性能,以及方案设计。着重介绍了正交分量法的优点、仪器工作原理以及效果等。
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叙述了CH-电容湿度仪的研制意义、仪器的主要技术指标、Si-MOS湿度传感器的性能,以及方案设计。着重介绍了正交分量法的优点、仪器工作原理以及效果等。
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