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以SnCl-2*2H-2O及乙醇为原料，利用溶胶－凝胶法制备SnO-2纳米薄膜.探讨了制膜的工艺条件，用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质，同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系.
溶胶—凝胶法制备SnO2气敏薄膜的研究
【摘 要】
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以SnCl-2*2H-2O及乙醇为原料，利用溶胶－凝胶法制备SnO-2纳米薄膜.探讨了制膜的工艺条件，用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质，同时考察了薄膜的晶相结构、晶
【机 构】
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中山大学化学与化学工程学院,清华大学化学系
【出 处】
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中山大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2001年3期
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