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液压油中的磨损颗粒会引发液压系统故障，同时也是机械故障信息的重要载体，因此对液压油中的磨损颗粒进行检测和分析十分重要。基于电感测量技术和微流体技术，设计出微流体油液检测芯片。在该芯片中，磨损颗粒与平面电感线圈的理论间距为0，检测装置的灵敏度得到极大地提高。本文通过数值仿真和实验验证手段研究了平面电感线圈几何参数与电感变化量的关系。结果表明，当铁磁质颗粒通过检测通道时，测得的电感变化量随着线圈匝数的增加而增大，但是随着线圈线宽的增大而减小。本研究为解决油液金属颗粒检测问题提供了一个良好的方案。