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在CVD反应器中超细粒子粒度分布控制模型化研究的基础上,进一步探讨了CVD反应器中超细粒子的形成过程,详细分析了超细粒子的烧结和晶型转变,以此为基础建立了晶体组成及含量的控制模型,并进行了晶体组成及含量的模型化,研究人方法论角度分析,晶体组成及含量的模型化研究方法和粒子粒度分布的研究方法一致,但前者以后者的研究为基础,体现了序贯研究的基本思想。