溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2薄膜工艺参数探讨

来源 :膜科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：itolbaxk

【摘要】

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用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜，研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜质量的影响．通过黏度测试、热重分析、X射线衍射分析（XRD）及原子力显微镜分析（AFM）等测试方法对溶胶的稳

【作者】

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董旭娟同帜崔双科胡敏盾邹力

【机构】

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西安工程大学环境与化学工程学院,陕西省现代建筑设计研究院,陕西省产品质量监督检验研究院

【出处】

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膜科学与技术

【发表日期】

：

2015年4期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法 Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜膜层开裂溶胶稳定性 sol-gel method Al2O3-SiO2-ZrO2 composite m

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用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜，研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜质量的影响．通过黏度测试、热重分析、X射线衍射分析（XRD）及原子力显微镜分析（AFM）等测试方法对溶胶的稳定性、复合膜的热稳定性、晶相组成及表面形貌等进行分析．结果表明，当Al2O3：SiO2：ZrO2（mol／mol／mol）=1：2：0．5时，制得的溶胶粘度适中为3．22mPa·s、透明稳定，且干凝胶无开裂；以0．5℃／min的升温速率升至600℃焙烧2h，并在75℃和240℃附近以0．25℃／min的速

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