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采用溶剂热法在玻璃基片上沉积铝掺杂的氧化锌透明导电膜（AZO）。研究了前驱溶液中Al^3＋与Zn^2＋的物质的量的比nAl^2＋/nZn^2＋、溶剂热反应温度和反应时间对薄膜物相、形貌、可见光透过率和电阻率的影响。结果表明，溶剂热法所制备的AZO薄膜具有六方纤锌矿结构。Al^3＋不仅改善薄膜的导电性而且起矿化剂的作用促进薄膜生长，溶剂热反应时间的增加没有使薄膜显著增厚。采用溶剂热法可制备出可见光平均透过率大于80％、方块电阻小于500Ω的AZO薄膜。