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采用肼水溶液在各种条件下对硅片进行腐蚀,通过分析与腐蚀速率有关的因素，即改变腐蚀溶液温度和肼的质量分数，来提高腐蚀速率。整个实验过程实质就是寻求最佳腐蚀工艺条件，从而提高硅片的表面质量。
肼对硅片的各向异性腐蚀技术研究
【摘 要】
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采用肼水溶液在各种条件下对硅片进行腐蚀,通过分析与腐蚀速率有关的因素，即改变腐蚀溶液温度和肼的质量分数，来提高腐蚀速率。整个实验过程实质就是寻求最佳腐蚀工艺条件，从而
【机 构】
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信息产业部电子第四十九研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年8期
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