【摘 要】
：
第三代半导体与功率器件的快速发展对封装互连技术提出了新的需求,纳米铜、银烧结互连技术因其优异的导电、导热、高温服役特性,成为近年来第三代半导体封装进一步突破的关键
【机 构】
：
华中科技大学机械科学与工程学院 武汉 430074;中国科学院深圳先进技术研究院 深圳 518055;深圳先进电子材料国际创新研究院 深圳 518103
论文部分内容阅读
第三代半导体与功率器件的快速发展对封装互连技术提出了新的需求,纳米铜、银烧结互连技术因其优异的导电、导热、高温服役特性,成为近年来第三代半导体封装进一步突破的关键技术.其中,纳米铜相较于纳米银烧结具有明显的成本优势和更优异的抗电迁移性能,然而小尺寸铜纳米颗粒的制备、收集与抗氧化性都难以保证,影响了其低温烧结性能与存储、使用的可靠性.该文回顾了近年来面向第三代半导体与功率器件封装的纳米铜烧结技术的最新研究成果,分析了尺度效应、铜氧化物对烧结温度及扩散的影响,总结了键合表面纳米化修饰、铜纳米焊料的制备与烧结键合、铜纳米焊料氧化物自还原等多项技术的优势与特点,展望了烧结铜技术进一步面向产业化应用的研究方向.
其他文献
以节点间交互流量的大小作为评价的权重，并考虑信任关系随时间的衰减性，本文提出了一种新的基于直接信任度，推荐信任度与声誉值的信任管理模型DRRtrust模型。仿真实验结果表
本文利用着色Petri网的建模的方法和工具CPN Tool,建立了TCP协议数据传输过程的着色Petri网模型,得到模型的了可达树,通过可达树的方法对协议模型的性质进行了分析与验证
化学实验室的安全直接关系实验人员的生命安全,对其进行有效的安全管理十分重要.文章主要分析了化学实验室的安全管理现状,根据安全管理存在的问题,提出了有效的解决办法,探
恶意程序常常使用一些多态或变形技术来抵制逆向工程和一些反病毒软件。然而，近年来基于结构体信息的恶意软件签名技术使得传统的多态或变形技术逐渐失效。本文，我们从目标
为进一步提高织物线性瑕疵的检测效率,文章提出了一种K-SVD算法,用于检测织物线性瑕疵。研究过程如下:首先分析K-SVD算法及其织物瑕疵表达;接着分析如何通过线性瑕疵投影增强、滤波处理提高瑕疵的分割效果;最后选择小波重构算法与K-SVD算法进行对比性实验。实验结果表明:K-SVD算法检出正确率高于小波重构算法4%,误检率较低,验证了K-SVD算法的有效性。
旅游纪念品具有实用及审美的功能,既能弘扬地方性文化,又具有很强的纪念和收藏价值.海南岛是我国唯一的热带旅游地区,其旅游产业对经济发展作出了突出贡献,当地的旅游纪念品
积极推广和使用新型的陶瓷釉料技术工艺,有助于陶瓷产业生产力水平的发展.基于此,文章详细阐述了高辐射远红外烧结工艺、环保型防污瓷釉工艺、永久性自洁纳米陶釉工艺、高吸
以Al2O3和AlN的球形粉体颗粒作为导热填料、以硅橡胶为基体,通过特定的工艺手段得到具有高导热特征的Al2O3-AlN/硅橡胶复合材料.结果表明:根据颗粒级配理论模型的计算可得最
在我国几千年的发展过程中,少数民族文化是不可多得的艺术宝藏,其中服饰文化被誉为“无字史书”.服饰文化的形成受所处地区的地理环境、民俗风情、审美观念的影响,逐渐衍生了
湘绣是非物质文化的重要组成部分,其在家居软装设计中的应用对弘扬我国传统文化、创新家居装饰方法都具有建设性意义.文章基于湘绣元素的艺术特征,分析其在家居软装设计中的