【摘 要】
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本文介绍了目前区熔掺杂方法的现状、区熔气相掺杂的优点和基本原理及工艺。气相掺杂成功地应用于区熔在国内还属首次尝试。实践证明气相掺杂比液相掺杂优越:掺准率高,电阻率
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本文介绍了目前区熔掺杂方法的现状、区熔气相掺杂的优点和基本原理及工艺。气相掺杂成功地应用于区熔在国内还属首次尝试。实践证明气相掺杂比液相掺杂优越:掺准率高,电阻率均匀性明显改善。
This paper introduces the current situation of zone melting doping method, the advantages of melting zone doping and the basic principle and process. Gas doping successfully applied to zone melting in the country is also the first attempt. It has been proved that gas phase doping is superior to liquid phase doping: the doping rate is high and the uniformity of resistivity is obviously improved.
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