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以抛光状态的纯Al、纯Cu和不同粗糙度的不锈钢基作为基底材料，采用磁控共溅射工艺来制备Al-Cu-Fe薄膜。利用原子力显微镜、能谱仪和MTS纳米力学综合测试系统分析薄膜的表面形貌、元索含量、结合强度和摩擦系数。分析结果表明：不锈钢作为基底材料的薄膜与基体的结合强度最大，其次为纯铝和纯铜。纯铜基底薄膜的摩擦系数最大，达到0．17，其余两种薄膜的摩擦系数均低于0．03。而薄膜表面形貌与基底材料的原始形貌有直接的联系，基底原始粗糙度越细小；薄膜的表面组织也细小；基底原始粗糙度越大，薄膜表面形成的晶粒的团聚越明显