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期刊论文
微机械及微细加工方法的研究
微机械及微细加工方法的研究
来源 :西安理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xll526
【摘 要】
:
基于光固化快速成型制造技术,结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术,研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板(光敏树脂固化物)镀膜的新方案,设计了一种有较大驱动位
【作 者】
:
于殿泓
魏正英
山本昌彦
郭俊杰
卢秉恒
【机 构】
:
西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安理工大学机械与精密仪器工程学院,日本国近畿大学,西安交通大学
【出 处】
:
西安理工大学学报
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
微细加工
快速成型
光刻
牺牲层
化学镀膜
microfabrication
rapid prototyping
photoetching
sacrifi
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基于光固化快速成型制造技术,结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术,研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板(光敏树脂固化物)镀膜的新方案,设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器,并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的,从而开辟了微细加工的新途径。
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